Российские ученые доказали, что система индий — оксид индия (In-In2O3) может служить хорошим источником газообразного оксида индия (In2O). Новая методика поможет в создании пленок для сенсорных устройств. Исследование опубликовано в журнале Rapid Communications in Mass Spectrometry.
В современной электронной промышленности оксид индия стал одним из наиболее популярных полупроводниковых материалов. Подобный успех обеспечивают его оптические, электрофизические и химические свойства. Они позволяют использовать его в широком спектре устройств и приспособлений. Например, тонкие прозрачные пленки из этого материала используются в качестве проводящих покрытий в сенсорных экранах (телефонов, часов, планшетов), солнечных батареях и матрицах цифровых камер.
Тонкие прозрачные покрытия можно получить с помощью термического напыления. Для этого нужно перевести материал в парообразное состояние. Однако эта процедура не так проста, поскольку необходим нагрев до крайне высоких температур. Подобный процесс энергоемок и сложен из-за специальных требований к конструкции и материалам вакуумных установок.
Российские ученые из Института общей и неорганической химии имени Н.С. Курнакова РАН нашли выход из этой трудной ситуации. Они обнаружили, что совместное испарение металлического индия с его оксидом снижает температуру напыления прозрачных проводящих покрытий более чем на 500 °С по сравнению с использованием чистого оксида индия.
«В данной работе мы изучили испарение в системе индий — оксид индия (In-In2O3). Было установлено, что пар над смесью In-In2O3 при температуре 660 °С на 95% состоит из молекул оксида индия (I). При этом ранее мы показали, что пар над индивидуальным оксидом индия (III) даже при температуре 1130 °С содержит всего лишь 50% молекул оксида индия (I). Следовательно, система индий — оксид индия может использоваться в качестве низкотемпературного источника газообразного оксида индия в технологическом процессе изготовления прозрачных пленок методом вакуумного напыления. Полученные нами результаты в первую очередь необходимы для оптимизации и снижения энергозатрат при получении тонких прозрачных проводящих покрытий на основе оксида индия, а также для прогнозирования поведения материалов при высоких температурах», — заключает Андрей Смирнов, автор статьи, аспирант, младший научный сотрудник Лаборатории физических методов исследования строения и термодинамики неорганических соединений.
Подписывайтесь на InScience.News в социальных сетях: ВКонтакте, Telegram, Одноклассники.
